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技術與裝備

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—— 技術創新

一、晶粒晶向控制技術


 晶粒的大小、排列方向直接決定了濺射成膜的均勻性和濺射速度,影響下游產品的品質和性能,因此,晶粒晶向的控制是濺射靶材生產過程中的核心技術。公司擁有金屬材料塑性變形加工生產線及內部組織結構檢測設備,通過科學的工藝安排,能夠對晶粒晶向實施精確的控制。

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二、高純金屬純度控制及提純技術

 由于金屬材料中的雜質會影響半導體芯片等下游產品的導電性能,因此,濺射靶材對金屬材料的純度提出了相當高的要求。公司通過自主研發和合作開發,已經具備生產超高純度的濺射靶材用金屬材料的技術能力,大大提升企業的市場競爭力。

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三、異種金屬大面積焊接技術

 焊接技術是將靶坯與背板牢固地焊接在一起的技術,公司擁有擴散焊接、電子束焊接、釬焊等不同焊接方式的完整產線和先進技術,產品平均焊接結合率可達99%以上,可滿足不同客戶多樣化的需求。其中,公司通過多年自主研發,已掌握了Al、 Ti、Ta、Cu等不同靶材和不同背板材料的大尺寸、高結合率和高強度的擴散焊接技術,多項擴散焊接技術已達到國際領先水平。

2021.7.9川西熱等靜壓設備 (2).jpg



四、金屬的精密加工及特殊處理技術

 半導體芯片制造客戶所使用的濺射機臺十分精密,對濺射靶材的尺寸精度要求很高,公司擁有一批國內外頂尖的數控車床、加工中心等大型精密加工設備,能夠對靶材的各項尺寸進行精準控制,從而滿足全球不同高端客戶機臺濺射的使用要求。

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五、靶材的清洗包裝技術



 下游客戶的生產環境、濺射反應機臺腔體對濺射靶材的潔凈程度要求很高,公司運用自主設計的靶材全自動清洗機進行反復的產品清洗,在真空環境下使產品干燥,用于生產半導體芯片的濺射靶材表面潔凈度能夠達到電子級水平。

科技有我,濺射新時代“中國制造”光芒.jpg



—— 知識產權

 江豐電子堅持以科技為創新動力,注重自主研發,擁有完整的自主知識產權。公司先后承擔了國家02重大專項、國家863重大專項、發改委高技術產業化項目、工信部電子發展基金等科研及產業化項目。截止目前,已累計申請專利628項,發明專利570項,制定國家/行業技術標準15項,位列中國企業專利500強第365位。公司及產品分別榮獲“國家知識產權優勢企業”、“國家制造業單項冠軍示范企業”、“中國半導體材料十強企業”、“國家戰略性創新產品”、“中國半導體創新產品和技術獎”、“浙江省科學技術重大貢獻獎”、“浙江省科技發明一等獎”、“浙江出口名牌產品”等。部分科技成果參加了國家“十一五”、“十二五”重大科技成果展,公司主導并聯合國內設備廠家研制了靶材生產、檢測的關鍵設備,實現了生產線的國產化。



2020年公司獲得全國制造業單項冠軍.jpg

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—— 承擔項目




2011年3月3日承擔國家“十二五”02重大專項(1).JPG


1、十三五國家02科技重大專項

      "集成電路靶材用超高純金屬材料產業化技術"項目,列入國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項。

2、十三五國家02科技重大專項 "20-14nm先導產品工藝開發"項目

      十三五國家02科技重大專項"20-14nm先導產品工藝開發"項目,列入國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項。

3、國家戰略性新興產業發展專項資金計劃

"年產1萬個高線代平板顯示器及先進封裝用靶材產業化"項目,列入國家戰略性新興產業發展專項資金計劃。

4、國家電子信息產業發展基金項目

"超大規模集成電路PVD工藝制造用鋁和鉭濺射靶材的產業化"項目,列入國家工信部電子信息產業發展基金項目。

5、十二五國家02科技重大專項  

"45-28nm配線用超高純系列濺射靶材的開發與產業化"項目,列入國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項。

6、國家高技術研究發展計劃(863計劃)

國家高技術研究發展計劃引導項目"超大規模集成電路制造用鋁和鉭濺射靶材產業化關鍵材料技術研究"項目,列入國家高技術研究發展計劃引導項目。

"薄膜液晶顯示器用超高純鋁靶材制造技術",列入國家高技術研究發展計劃重點項目

7、十一五國家02科技重大專項

"300mm極大規模集成電路用Al、Ti、Ta 靶材制造技術研究與開發"項目,列入十一五國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項。

8、年產5千個大尺寸液晶顯示器用靶材生產項目

      列入國家彩電產業戰略轉型產業化專項

9、 新型平板顯示用高純鉬鋁靶材產業化項目

       列入國家工業強基工程項目

10、 年產2萬個超大規模集成電路及平板顯示器制造用濺射靶材生產線技術改造項目

        列入國家電子信息產業技術改造工程項目





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